无尘室空调与建筑材料选用注意事项无尘室空调与建筑材料选用注意事项
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- 2021-02-03
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无尘室空调与建筑材料选用注意事项——无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。
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