微流控芯片的材料与加工方法研究进展
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- 2021-04-27
- 简介
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综述了微流控芯片的制作材料及其加工方法的研究进展。在介绍了传统硅质材料,如硅、玻璃、石英等的基础上,着重描述了高分子聚合物材料在微流控芯片的应用趋势。针对不同材料,详叙了其材料特性、应用范围及加工方法。特别介绍了一些新的加工方法,如激光刻蚀法、软光刻、LIGA方法在该领域的应用。针对微流控芯片的材料与加工做了一个简要而系统的回顾,对微流控芯片和其他微型全分析系统的研究者有重要参考价值。
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