芯片制造企业节水评价指标体系研究——以上海浦东企业为例
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- 2021-04-27
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以国家节水企业评价标准与其他类似节水指标为指导,结合芯片制造产业特征与台湾同类企业评价标准,总结提出针对芯片制造产业的节水评价指标。设计指标从总体用水,主要生产单元以及主要辅助单元三方面考察企业用水情况,其中主要生产单元用水作为重要考察对象,包括纯水制造单元和芯片制造线的清洗水回收。运用该指标对现有浦东典型企业用水状况和节水潜力进行评估。结果显示,A厂主要生产单元总回用率达到70.4%,清洗水回用率达到75.6%,明显高于B厂,而按传统计算内循环水为回用水时,两厂回用率均在98%左右,相差不大,说明所设计指标能较直接准确地反映企业的节水水平。
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