投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计
100 积分
50
评分
4.7 积分- 详情
- 2021-04-27
- 简介
pdf
- 1.2MB
- 页数 7P
- 阅读 71
- 下载 33
离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 1.2MB
双层衍射元件在投影式头盔光学系统设计中的应用 656KB
基于光学元件结构优化的仿真平台设计与实现 527KB
数字刀口仪定量检验非球面光学元件面形 891KB
透视热点光学元件——平行玻璃砖 88KB
基于衍射面的双目投影头盔光学系统设计 235KB
塑料模型光学元件涂敷用耐刮擦性良好的低反射硬涂料(日本) 135KB
光学灯光学设计 785KB
巧用投影仪灯光做光学实验 175KB
短焦数字投影镜头的光学设计 149KB