新型的AlGaN/PZT材料紫外/红外双波段探测器
- 详情
- 2021-04-27
- 简介
- 280KB
- 页数 5P
- 阅读 81
- 下载 32
提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件。该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁电薄膜的热电转化功能,实现对紫外和红外信号的电学响应。对该结构中各膜层的透射和吸收进行了测试和分析,在小于6μm的光谱测试范围内,宝石衬底的透过率约为80%,而AlGaN多层外延结构和多孔SiO2隔离层都对红外光吸收很少。结果证明:该结构可以实现不同吸收层对入射光束不同波段的吸收。以AlGaN器件工艺和溶胶-凝胶法制备PZT膜层为基础,研究了器件工艺,并最终研制出了首个AlGaN/PZT探测器件。
对不起,您暂无在线预览权限,如需浏览请
立即登录热门商品
vacuum_***
擅长:
土建 市政
- 4.6
服务
- 9
商品
- 390
人气
相关推荐
新型的AlGaN/PZT材料紫外/红外双波段探测器 280KB
基于MATLAB红外双波段成像探测器性能仿真 720KB
一种新型红外探测器的介绍——量子点红外探测器 349KB
新型量子点红外探测器 45KB
新型量子点红外探测器问世 69KB
防爆双波段红外火焰探测器 374KB
可燃气体红外光双波段探测器研究 302KB
气动型红外探测器 143KB
气动型红外探测器 70KB
红外探测器三波段高通滤光片的研制 244KB