钠钙硅酸盐玻璃和铅玻璃的离子溅射抛光
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- 2021-04-27
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采用 2 0keV的离子注入机对钠钙硅酸盐玻璃和中铅玻璃进行离子溅射抛光。玻璃样品在N+ 离子剂量为 1× 10 14 ions/cm2 、1× 10 17ions/cm2 ,束流强度 15 0 μA/cm2 于室温下抛光。讨论了离子溅射抛光后玻璃表面的形貌
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