基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究
100 积分
50
评分
4.5 积分- 详情
- 2021-04-27
- 简介
pdf
- 930KB
- 页数 6P
- 阅读 77
- 下载 27
利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测.
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究 930KB
基于模糊预测的工程造价快速算法研究 114KB
基于数控车的深沟槽高效加工 110KB
基于数据匹配的建筑物群典型化快速算法 627KB
深沟槽施工方案 83KB
基于反投影坐标快速算法的木材CT检测系统研究 1.7MB
等效焓降局部定量修正模型的算法研究 121KB
浅谈混合沟槽施工方法在深沟槽施工中的实践 139KB
建筑热反射涂料现场反射率检测研究 196KB
深沟槽工艺产品晶片周边硅针缺陷的解决方法 2.9MB