基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究
100 积分
50
评分
4.8 积分- 详情
- 2021-04-27
- 简介
pdf
- 248KB
- 页数 5P
- 阅读 66
- 下载 21
开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料,在玻璃上旋涂光刻胶层,制作微流控芯片的工艺.针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点,优化了涂胶、匀胶、预烘、曝光、显影、坚膜等制作工艺步骤,使得制作工艺具有良好的稳定性.自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到36μm,宽度可以达到150μm,最大有效直线长度可达150 mm,芯片具有优良的性能.工艺的开发节约了实验资源,提高了芯片设计的灵活性和多样性.
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究 112KB
基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究 248KB
(整理)镀膜玻璃简介. 79KB
镀膜玻璃学习 52KB
镀膜玻璃 43KB
电镀膜玻璃 68KB
镀膜玻璃 (2) 35KB
镀膜玻璃第2部分低辐射镀膜玻璃 2.2MB
Low-e玻璃和镀膜玻璃 59KB
Lowe玻璃和镀膜玻璃 (2) 35KB