滤光片对三角位移传感器测量误差的影响
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- 2021-04-27
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为了提高激光位移传感器接收系统的信噪比,往往在CCD或PSD接收器前加滤光片。但是,滤光片对接收光线的折射作用将引起测量误差,而且该误差是非线性的,对于高精度位移传感器来说,这个误差是不可忽略的。设计了一种补偿方法,实验表明该方法可行。
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F1821***
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