涡轮分子增压泵的研究现状与进展
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- 2021-04-27
- 简介
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综述了涡轮分子增压泵的研究现状与进展。涡轮分子增压泵是一种动量传输型真空泵 ,它的出口压力范围可达 10 0 0 Pa,通过计算流体动力学方法 (CFD法 )和直接模拟蒙特卡罗法 (DSMC)可以模拟计算抽气通道内气体的流动 ,这两种互补的方法可以研究从粘滞流到分子流的全部抽速曲线 ,从而指导新型涡轮分子增压泵的设计。
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