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- 2021-04-28
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本文从振动对多丝切割机切割硅片的质量影响出发,对加工区域内的受力进行了一定的分析,同时基于对系统的分析,采用Hamilton原则进行系统建模,并且利用有限元方法对系统求解,得出了不同系统参数对系统固有特性的影响。并提出了系统参数的一般设置,达到了预期的效果。
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