三波长光干涉法测量磁盘/磁头纳米级气膜厚度
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- 2021-04-28
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给出三波长光干涉测量纳米级薄膜厚度的方法。通过对某负压磁头/玻璃盘空气薄膜的测试表明:三波长光干涉法具有精度高、容易实施等优点,能够满足磁盘/磁头润滑副设计、制造及研究的需要。
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