离子渗钨-钼锯条溅射率与吸收率的研究
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- 2021-04-28
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将74μm(200目)的W和Mo粉按重量比2:8均匀混合,经过成型、烧结、轧制,制成尺寸为300mm×60mm×8.5mm的板状源极,利用双层辉光离子渗金属技术,在以20钢为基材的手用锯条齿部表面,渗入W、Mo元素形成合金化层。通过100炉次共计50万支离子渗W、Mo手用锯条生产,计算出源极W、Mo原子的平均溅射率为0.095。W、Mo原子被锯条齿部表面的平均吸收率为26%。
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