新型密封式精密钢带光栅线位移传感器的研制
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- 2021-04-28
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研制了一种新型的密封式超长精密钢带光栅线位移传感器.该传感器采用了反射式精密超长计量钢带光栅尺作为测量基准尺,实现了大量程,并且依据激光光电扫描器拾取光栅莫尔条纹光电信号,提高了光栅付工作间隙量和测量的精度.实验的结果表明:传感器量程为3m,10m,50m时,其测量精度可以达到±5μm/m,±10μm/m,±20μm/m.
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