蓝宝石基片的超光滑表面抛光技术
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- 2021-04-28
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文中介绍了蓝宝石基片的主要抛光方法,包括浮法抛光、机械化学抛光、化学机械抛光和水合抛光等,对它们的工作原理、特点作了分析和总结。
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