使用红外干涉仪测量非球面面形
100 积分
50
评分
4.5 积分- 详情
- 2021-04-28
- 简介
pdf
- 972KB
- 页数 6P
- 阅读 117
- 下载 34
提出用红外干涉仪在长波工作(λ=10.6μm)的优点检测非球面面形。首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程计算出非球面与标准拟合球面之间波像差的理论值,通过比较这两个值,计算出非球面的面形偏差。实验结果表明,使用红外干涉仪测量的非球面与标准拟合球面之间的波像差为8.64μm(PV),与理论波像差(8.11μm)比较接近,测得非球面面形偏差为1.20μm(PV)。为了验证这一方法的准确性,使用计算全息图(CGH)作为补偿镜在可见光干涉仪上测量了同一块非球面,两者测量结果比较吻合。结果表明,此方法有比较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的测试。
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
使用红外干涉仪测量非球面面形 972KB
激光干涉仪使用方法 34KB
激光干涉仪进行角度测量 738KB
激光干涉仪测量方法 1.8MB
高频振动外差激光干涉仪研究 277KB
激光干涉仪技术参数 24KB
迈克尔逊干涉仪测薄玻璃片厚度 326KB
双芯光纤马赫-曾德尔干涉仪的温度特性 4.9MB
光纤耦合器与速度干涉仪的灵敏度 995KB
一种基于光纤球结构干涉仪的光纤磁场传感器 187KB