晶体行为对SUS304钢表面溅射蚀刻圆锥状碳化物生成的影响
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- 2021-04-28
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研究用射频磁控溅射设备对SUS304钢表面进行600 W×14.4 ks或600 W×28.8ks的Ar+溅射蚀刻处理,并用SEM、SIM和EBSP对表面形貌进行微观表征。结果表明:600W溅射蚀刻功率下,圆锥状碳化物不仅沿晶界生成,而且在晶粒表面内大面积生成。其大小和分布密度在{111}面最大,依次按{110}面和{100}面的顺序递减,并于位错等晶体缺陷处优先成核生长。但是,随着时间的延长,晶体取向对碳化物的生长没有直接的影响,微细凸起物形成的碳化物层覆盖试验片,并在局部生成尖而细的凸起物。
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