钛酸铋陶瓷靶材的热压烧结
100 积分
50
评分
4.6 积分- 详情
- 2021-04-28
- 简介
pdf
- 264KB
- 页数 5P
- 阅读 84
- 下载 27
纯相、高致密度、结晶良好的陶瓷靶材是物理气相沉积薄膜的前提。采用热压烧结方法制备钛酸铋(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材,重点研究了制备工艺对靶材的物相、微观结构和致密度的影响。以Bi2O3和TiO2微粉为原料,采用固相反应法,在800℃合成出纯相的Bi4Ti3O12粉体;加入过量3wt%的Bi2O3,可以有效防止烧结过程中因Bi挥发所产生的杂相,得到纯相的Bi4Ti3O12陶瓷;采用热压烧结方法,进一步实现了Bi4Ti3O12粉体的致密烧结,确定了适宜的制备条件为850℃,30MPa,2h,在该条件下制备的Bi4Ti3O12陶瓷致密度达到99%,晶粒呈片层状,大小约2～4μm,可满足靶材制备薄膜的需求。
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
钛酸铋陶瓷靶材的热压烧结 264KB
立式真空热压烧结炉设计-真空热压烧结炉的研制 1.3MB
取向对钙锶铋钛陶瓷结构和性能的影响 1013KB
粉末特性对钙锶铋钛陶瓷厚膜性能的影响 289KB
机械合金化热压烧结Mo-Si-B多相难熔合金的超塑性 1.0MB
热压烧结制备无粘结剂碳化钨硬质合金 734KB
无压烧结碳化硅陶瓷环 48KB
一种陶瓷烧结炉 79KB
钛釉在陶瓷面砖中的应用技术 81KB
钡镧钛系列高介电常数陶瓷研究 1.3MB