高效过滤器过滤效果数值模拟
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- 2021-04-28
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主要介绍过滤器的过滤机理,并通过数值模拟分析这些过滤机理对微小粒子在过滤器上沉积速率的影响以及在工作台上沉积速率的影响,认为目前的过滤器过滤效率基本可以满足工业洁净室的需求。
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