氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布
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- 2021-08-07
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用测试抗弯强度的方法测定了氮气氛下直拉硅(NCZ-Si)棒轴向机械强度分布。与红外分析结果比较表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 对的浓度对硅棒强度分布起着比间隙氧更重要的作用。碳浓度达2×10~(17)cm(-3)时,对硅棒强度无显著影响。
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