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- 2021-08-07
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本设备采用二级计算机全自动控制,本机分为自动上板段清洗段,磁控镀膜真空室段,自动测量段及自动装卸段组成。镀膜段又分成8个真空室,6个磁控靶组成,可以进行三种膜系
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