锗硅合金Y分支器的研制
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- 2021-08-07
- 简介
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本文介绍采用半导体平面工艺研制的Y 分支器。为减少分支处的幅射损耗,并考虑分支器波导耦合长度,Y 分支器的分支角度设计值为2 度。Y 分支器的波导结构依据大截面理论决定。经激光测量系统测试,分支器角度辐射损耗值为2dB。
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