液晶面板洁净室内工艺设备对气流影响和调整研究
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- 2021-08-07
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针对单向垂直流洁净室内,受工艺设备影响导致的气流偏移、无效气流现象进行综合分析,探讨在洁净室设计和施工过程中所要考虑的因素以及运行阶段气流二次调整的方案,使洁净室形成良好的气流流型,并能更好地满足实际生产的需要。
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