玻璃基底透明导电氧化物薄膜生产技术及其应用研究
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- 2021-08-07
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在玻璃基底上制备透明导电氧化物薄膜(简称TCO薄膜)的方法很多,本文主要论述了喷雾热分解法、真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法,并对其在工业化应用中的优缺点进行了分析。对TCO薄膜应用进展情况、磁控溅技术和AZO薄膜的发展应用前景进行了研究和展望。
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