QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究
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- 2021-08-07
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以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0.4~0.8μm),工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,结果表明平均透过率达97.73%。环境测试表明,薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。
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