形状记忆合金驱动的常闭型主动阀
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- 2021-08-07
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本文研究了一种基于形状记忆合金（SMA）驱动的常闭型微阀．该微阀结构由弹性沟道层和形状记忆合金桥两部分组成，利用形状记忆合金微丝在相变过程中产生的拉力，打开微阀结构．通过对微阀的测试得出，其打开压力为4000Pa左右，开启时间和关闭时间分别为0．6s和1s．此外，当电流在0．14～0．30A内，可得到6．7～75．2μL／min的近似线性流量调节范围．该形状记忆合金常闭微阀的制造采用聚二甲基硅氧烷（PDMS）的软光刻工艺实现，之后采用印刷电路板（PCB）上的形状记忆合金丝焊接组装搭建驱动结构．
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