提高半导体用石英玻璃制品的耐热性
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- 2021-09-10
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在生产半导体材料和仪器时,采用高温工艺过程。用这种生产方法,对工艺设备提出了严格的要求。作为管形安瓿等反应器应防止杂质从窑炉空间掺进半导体,到高温前应经得起长时间反复多次加热,不破裂,不改变自身的几何形状。在生产半导体仪器时,可采用耐热高和热稳定性好及杂质含量少的石英玻璃管作为进行高温过程的反应器。
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