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- 2021-09-10
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本文论述了陶瓷与锗的金属高温封接技术的原理和封接方法,并用该技术把TEA CO_2激光器的陶瓷端口与锗镜封接在一起了.其封接面的漏气率优于10~(-12)Torr·L/s,并能承受400℃的高温冲击,封接面的物理强度大于锗本身.
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