串联臂压电微电机及驱动电源的研究
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- 2021-09-10
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二级串联压电双晶片 (串联臂 )一端固定时 ,在相位差为π/2的偏置方波信号驱动下 ,自由端将沿椭圆轨迹运动。以串联臂为驱动元件 ,可用来驱动端面与其相接触的转子转动 ,构成串联臂压电微电机。对单路方波信号分频 ,可产生双路相位差为π/2的方波信号 ,对信号进行放大 ,构成相位差为π/2的偏置方波驱动信号。
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