基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计
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基于人机工程学的研究方法,以光刻机嵌入式控制面板的人机信息交互作为设计切入点,结合工程实践分析了控制面板显示器和控制器在使用时的特点,探讨了光刻机控制面板在界面设计中应遵循的原则。在此基础上,设计了一套可行的光刻机嵌入式控制面板。
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