宁波材料所在CVD大块单晶金刚石合成技术方面取得进展
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所"功能碳素材料团队"以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标,最近在CVD(Chemical-Vapor-Deposition:化学气相沉积)单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。团队从国产微波等离子体CVD设备设计改造着手,开发了高密度、高稳定性的金刚石沉积装置。与国外设备相比,成本降至百分之三十。团队自主开发了金刚石的生长工艺,即对籽晶进行特殊的处理,同时制备过程中严
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