一种新型VLSI电路外部电光探测器
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- 2021-09-10
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采用极化聚合物电光材料,设计制作出一种结构新颖的亚微米VLSI电路正面入射式外部电光探测器。通过在探测器中引入参考电极,实现了电压的标定测量;利用1μm线宽指状电极的电场分布,验证了触立式极化聚合物电光探测器对电场具有较高的空间分辨率。实验证明,该新型外部电光探测器的空间分辨率可达0.5μm,完全满足亚微米电路无损探测的要求。
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