等离子清洗技术在大面积磁控溅射玻璃镀膜中的应用
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- 2021-09-10
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在大面积磁控溅射玻璃镀膜中，使用等离子清洗技术可以有效地清洁靶面和阳极表面，彻底解决使用平面磁控溅射阴极进行反应性溅射时的“靶中毒”和“阳极消失”两个问题。
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