用于真空压力测量的电容式薄膜真空计
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- 2021-09-10
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本专利所涉及制造的是一种用于真空压力测量与控制的仪器仪表。它是检测真空压力的理想仪表，由于运用了电容量变化的原理，采用了可变电容结构，成功地制造出了一种结构简单，成本较低，工作特性稳定，过压能力强，测量精度和灵敏度高，耐蚀性强，长期稳定性好的真空压力测控仪表——电容式薄膜真空计。
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