压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计
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- 2021-09-10
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提出了一种以压电叠堆作为驱动源的新型步进直线精密驱动器,设计了直线驱动器的整体结构,分析了直线驱动器的工作原理。制作了直线驱动器样机并进行试验测试,试验结果表明:步距与电压间具有良好的线性关系,但驱动器存在步距误差。采用PCI—6229NI数据采集卡,使用LabVIEW软件设计了驱动器闭环反馈控制系统,对比试验结果表明:驱动器定位精度显著提高,可达到0.06μm。
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