3mm厚大口径超薄元件双面抛光工艺
100 积分
50
评分
4.3 积分- 详情
- 2021-09-10
- 简介
pdf
- 262KB
- 页数 未知
- 阅读 91
- 下载 26
基于环摆双面抛光技术,研究了3mm厚大口径超薄元件的双面抛光加工工艺。通过对双面抛光原理的分析,对转速比、抛光垫面形、抛光液等工艺参数上作了优化,并通过加工模拟进行验证。通过工件环分离器减薄技术解决了3mm厚超薄元件的装夹问题。在SYP152双面主动抛光机上进行了加工工艺实验,通过调节转速比实现3mm厚大口径超薄元件面形的高效收敛,验证了加工的可行性,并且达到了面形精度优于1.5λ(λ=632.8nm)、表面粗糙度优于1nm的技术水平。
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
3mm厚大口径超薄元件双面抛光工艺 262KB
超薄硅双面抛光片抛光工艺技术 1.3MB
中大口径方形非球面镜高效数控抛光工艺实验研究 1.1MB
免洗小米抛光工艺优化研究 2.6MB
大口径厚壁直缝双面埋弧焊钢管 995KB
Q235B大口径薄壁焊接钢管 397KB
大口径弯管 512KB
大口径弯头 534KB
大口径方管 70KB
3mm薄压花玻璃出炉 11KB