电清洗人造石英晶体技术的研究
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- 2021-09-11
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该文采用电清洗技术研制出高稳定性,高可靠性,低腐蚀隧道密度的人造石英晶体。通过对电清洗工艺技术的研究,可将腐蚀隧道密度≤100条/cm2、Na+质量分数为2.33×10-6的石英晶体腐蚀隧道密度降低到≤10条/cm2,Na+质量分数减少到0.3×10-6。采用电清洗石英晶体技术研制出了腐蚀隧道密度≤3条/cm2,抗辐射性能提高2个数量级。
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