还原炉密封卡紧螺栓装置研究设计
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- 2021-09-11
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多晶硅行业设备因其工艺性质及操作特殊性,大部分为特种设备,密封要求较高。静设备采用标准垫片和螺栓压紧密封。多晶硅生产中还原炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,因反应介质为三氯氢硅与氢气,密封性要求较高,通过研究设计还原炉密封卡紧螺栓装置有效解决生产中螺栓卡死等实际问题,节约大量劳动力,提高了生产效率,该工作为同行业首创。
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