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我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成

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  • 2020-12-27
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<正>近日,中国建材总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术,在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。该生产线的建立,是中国建材总院承担的"十二五"国家科技支撑计划"高性能石英玻璃、微晶

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