基于光纤光栅输出光强检测的压力传感器
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- 2021-09-19
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为避免布拉格光纤光栅温度与应力测量时的交叉敏感问题,文中提出一种基于微机电加工工艺的沙漏型FBG结构,通过各向同性腐蚀改变包层厚度,使其再受压力时光栅间距连续非均匀变化,导致反射带宽展宽,而温度只使中心波长漂移使带宽展宽很小,通过检测输出光强的大小间接测量压力大小,有效避免温度与应力的交叉敏感问题。
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