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- 2021-09-20
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分参数测量Al衰减膜的质量厚度和氧化层后,通过计算到了Al膜的透过率。为检验计算结果的正确性,在北京同步辐射软X光反射率装置上进行Al衰减膜透过率的直接测量。二者的结果在最大偏差11%范围内符合。
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