碳纳米管-铜复合材料及其微细配线
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- 2021-09-22
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电子器件为了增加功能和缩小体积，不断地往小型化发展。所用布线也越来越细。碳纳米管就是适应这种需要，将一层石墨的碳二维层，制成筒状，成为直径为数rim到数＋nm的圆筒状碳材料。日本产业技术综合研究所山田健朗采用有机系铜镀液，进行电解镀，使碳纳米结构体内部析出铜核子，再在氢气氛下还原处理，最后用水溶性镀铜也进行第二阶段镀铜，这样就可以在碳纳米管内部以及碳纳米管之间都镀上铜，
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