用激光干涉仪校准坐标测量机单轴测量尺寸误差
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- 2021-09-22
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本文通过与三坐标测量机校准规范规定的采用量块作为标准器的方法进行比较，论证了使用激光干涉仪校准三坐标测量机的可行性。分析了当实物标准器无法满足测量要求时可采用激光干涉仪替代的办法。
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