单面研磨抛光晶片研磨一致性研究
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- 2021-09-22
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针对LED衬底材料蓝宝石在单面研磨抛过程存在的研磨一致性问题.从运动学理论出发,计算陶瓷盘上任意点的绝对运动方程;通过计算公式来判断任意点的研磨速度;揭示了研磨(抛光)盘和研磨(抛光)头角速度的变化对蓝宝石晶片研磨一致性的影响.
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