化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望
100 积分
50
评分
4.7 积分- 详情
- 2021-04-27
- 简介
pdf
- 889KB
- 页数 4P
- 阅读 93
- 下载 39
在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望。
对不起，您暂无在线预览权限，如需浏览请
立即登录热门商品
相关推荐
化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望 889KB
化学机械抛光之抛光垫表面沟槽形状的研究与分析 125KB
化学机械抛光中抛光垫表面沟槽的研究 350KB
硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究 171KB
一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究 481KB
固结磨料抛光垫抛光硅片的探索研究 1.4MB
基于单分子层去除机理的芯片化学机械抛光材料去除模型 775KB
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究 944KB
基于自动化机械抛光的工艺技术研究 37KB
基于仿生结构锡抛光垫的抛光接触压力分析 2.7MB