Piranha改性玻璃基板液相沉积制备SrTiO_3功能陶瓷薄膜(英文)
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- 2021-08-07
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以Piranha溶液处理玻璃基板,采用液相沉积技术,制备了钛酸锶晶态薄膜。改性基板的亲水性测定与偏光显微镜测试表明,Piranha溶液能够有效改善玻璃基板的亲水性,并且基板表面的硅烷醇对钛酸锶薄膜的沉积具有积极指导作用;X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)表征显示,制备成功的钛酸锶薄膜纯度高,结晶良好,样品表面均匀,在垂直基板表面方向上呈纤维花簇状生长。文章同时对基板表面硅烷醇形成过程进行了研究。
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