高效过滤器DOP(PAO)检漏法在洁净室中的应用
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- 2021-09-10
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根据GB 50591-2010洁净室施工及验收规范中5.6.1-5.6.13及附录D的要求,介绍洁净室中的高效过滤器DOP(PAO)检漏的原理、检测方法、结果判断及处理、检漏周期等内容,并对DOP(PAO)检漏及其标准间的差别的有关问题进行了探讨。
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