对利用激光点光源干涉法测量两平面间平行度问题的商讨
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- 2021-09-10
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激光点光源干涉法(如图1所示),是将激光器1发出的高斯光束经光学系统2聚焦变成点光源S,从S发出的球面波经平行平板4的两测量面反射后相遇发生干涉,其干涉性质为双光束非定域干涉。干涉图样为同心圆环,屏3上所接收的圆环圆心位置随两被测面间的夹角而变。今设夹角为α,圆心偏离点光源为r_(?),分别推导其计算公式。
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