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用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO_2薄膜

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  • 2021-09-10
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介绍利用钛酸丁酯为前驱液, 用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2 薄膜。研究分析了冰醋酸、乙酰丙酮等添加物对溶胶性能的影响,对制备在不锈钢基片上的TiO2 薄膜进行XRD分析,并检测薄膜的阻-温特性、V-I特性、绝缘强度等电学特性。实验显示添加一定比例的H2O、冰醋酸、乙酰丙酮, 可以得到长时间不胶凝、性能稳定的溶胶,通过适当工艺, 能在金属基片上制备出致密、不开裂、电阻率为105 ~106 Ω·cm 的TiO2 薄膜。

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