以创新推动本土光刻设备的发展——访上海微高精密机械工程有限公司总经理程建瑞先生
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在集成电路IC装备领域，先进的光刻设备和技术长期被外资厂商占据。在国家振兴制造装备业规划的宏观形式下，上海微高通过自身努力，以创新推动本土光刻设备的发展。当前上海微高承担着国家“863”重点攻关项目，是国家光刻机研发的主要力量；上海微高正通过不断的研发和创新投入，努力使其打造成中国的光刻机专家。
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